fun88乐天使备用网址

fun88乐天使备用网址

  刻蚀机和光刻机的区别:光刻机把图案印上qu,然后刻蚀机gen据印上qu的图案刻蚀掉有图案(或zhe胔ui型及福┑腷u分,留下剩余的bu分。刻蚀xiang对光刻要rong易。如果把在硅晶体上的施工比成木匠活的话,光刻机的作用xiang当于木匠在木料上用墨斗划线,刻蚀机的作用xiang当于木匠在木料上用锯子、凿子、斧子、刨子等施工。蚀刻机和光刻机性质一样,但精度要qiu是天壤之别。木匠做细活,一ban精确dao毫米就行。做芯片用的刻蚀机和光刻机,要精确dao纳米。现在的手机芯片,如海思麒麟970,高通骁龙845都是台积电的10纳米技术。10纳米有duo小呢?打个比方。如果把一genzhi径是0.05毫米头发si,anzhou向pingjun剖成5000片,mei片的hou度大约就是10纳米。现在世界上最先进的光刻机是荷兰的ASML公si,最小dao10纳米。台积电买的都是它的光刻机。ASML公si实际上是美国、荷兰、de国等duo个国家技术he作的结果。因为这穓iao娴难芯磕讯忍螅琩an个国家完成不了。除了ASML,世界上謍uixing颐腔乖诟遜uan光刻机上nu力研发。

  我们是受dao技术禁詓huo模荒苈騮a最先进的365体育比分,国内上海量chan的是90纳米的光刻机。技术上有差距。2017年,长春光机所“极紫外光”技术huo得突破,预计能dadao22-32纳米,技术差距缩小了。

  我xiangxin,不久的jianglai,我们的科技人员一定能研制出世界一liu的光刻机,不再被卡脖子。核心技术、关jian技术、国之zhong器必须立足于自己。科技的攻关要摒弃huan想,靠我们自己。

  我胵iang淌椿际跻丫黄疲?纳米的刻蚀机我们ye能自主shengchan,现在卡脖子的是光刻机。在芯片加工guo程中,光刻机放样,刻蚀机施工,qing洗机qing洗。然后反复xun环几shi次,一ban要500道左you的工序,芯片——ye就是晶体管的集成电路才能完成。放样da不dao精度,刻蚀机就失qu用武之地了。

  什么是光刻机

  
  光刻机(Mask Aligner) 觶hi貉谀6宰计毓饣毓庀低常饪滔低车取R籦an的光刻工艺要经历硅片表面qing洗烘干、tu底、旋tu光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显ying、硬烘、刻蚀等工序。
  
  Photolithography(光刻)意思是用光lai制作一个图xing(工艺);在硅片表面匀胶,然后jiang掩模版上的图xingzhuan移光刻胶上的guo程jiang器件或电路结构lin时“复制”dao硅片上的guo程。
  

  光刻的目的

  
  使表面具有shu水性,zengqiangji底表面与光刻胶的黏附性。
  

  光刻机工作yuan理


光刻机yuan理图
  
  上图是一张光刻机的jian易工作yuan理图。下面,jiandan介绍一下图中各设bei的作用。
  
  ce量台、曝光台:cheng载硅片的工作台,ye就是本次所shuo的双工作台。
  
  光shujiao正器:jiao正光shu入射方向,rang激光shu尽量ping行。
  
  能量控制器:控制最謟hao丈鋎ao硅片上的能量,曝光不足或guo足都会yanzhongying响成xiang质量。
  
  光shuxing状设zhi:设zhi光shu为圆型、环型等不同xing状,不同的光shu状态有不同的光学te性。
  
  遮光器:在不需要曝光的时候,zuzhi光shuzhao射dao硅片。
  
  能量蘪iang馄鳎杭靋e光shu最终入射能量是否fuhe曝光要qiu,并反馈给能量控制器进行调整。
  
  掩模版:一kuai在内bu刻着线路设计图的bo璃板,贵的要数shi万美yuan。
  
  掩膜台:cheng载掩模版运动的设bei,运动控謕ing仁莕m级的。
  
  物镜:物镜由20duokuai镜片组成,主要作用是把掩膜版上的电路图an比例缩小,再被激光映射的硅片上,并且物镜还要补偿各謟hi庋蟛睢<际跄讯染驮谟谖锞档纳杓颇讯却螅鹊囊猶iu高。
  
  硅片:用硅晶制成的圆片。硅片有duo种尺寸,尺寸越大,chan率越高。题外话,由于硅片是圆的,所yi需要在硅片上剪一个缺koulai确ren硅片的坐标系,gen据缺kou的xing状不同分为两种,穤hi鸾衒lat、notch。
  
  内bu封bikuang架、减振器:jiang工作台与外bu环境隔离,保持水ping,减少外界振动干扰,并维持稳定的温度、压力。
  

  光刻机分类

  

  光刻机一bangen据操作的jian便性分为三种,手动、ban自动、quan自动。

  A 手动:指的是对准的调节方式,是通guo手调旋钮改变它的Xzhou,Yzhou和thita角度lai完成对准,对准精度可想而知不高了;

  B ban自动:指的是对准可yi通guo电动zhougen据CCD的进行定wei调xie;

  C自动:指的是从ji板的上载下载,曝光时长和xun环都是通guo程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。

  光刻机可yi分为接近接触式光刻、zhixie式光刻、yi及touying式光刻三大类。接近接触式通guo无xian靠近,复制掩模板上的图案;touying式光刻采用touying物镜,jiang掩模板上的结构touyingdaoji片表面;而zhixie,则jiang光shu聚焦为一点,通guo运动工件台或镜头扫描实现任意图xing加工。光学touying式光刻ping借qi高效率、无损蓅huo挠诺悖粃hi是集成电路主liu光刻技术。

  

  光刻机ying用

  
  光刻机可广泛ying用于微纳liu控晶片加工、微纳光学yuan件、微纳光栅、NMEMS器件等微纳结构器件的制bei。
 

  刻蚀机是什么

  实际上狭yi理解就是光刻腐蚀,先通guo光刻jiang光刻胶进行光刻曝光处理,然后通guoqi它方式实现腐蚀处理掉所需除qu的bu分。随着微制造工艺的发展;广yi上laijiang,刻蚀成了通guo溶液、反ying离子或qi它机械方式lai剥离、qu除材料的一种统称,成为微加工制造的一种普适叫fa。

  刻蚀机的yuan理

  ganying耦he等离子体刻蚀fa(InducTIvely CoupledPlasma Etch,jian称ICPE)是化学guo程和物理guo程共同作用的结果。它的ji本yuan理是在真空低气压下,ICP 射频电源chansheng的射频输出dao环xing耦he线圈,yi一定比例的混he刻蚀气体经耦he辉光放电,chansheng高密度的等离子体,在下电极的RF 射频作用下,这些等离子体对ji片表面进行轰击,ji片图xing区yu的ban导体材料的化学jian被打断,与刻蚀气体sheng成hui发性物质,yi气体xing式脱离ji片,然后从真空管路被抽走。

xiang关资讯

PCB蚀刻机的yuan理和工艺liu程,看完很有收huo

河bei365体育比分电子科技有xian公si

联系人:龙经理 13933151511 18632152034

公si地址:河bei省石家庄市鹿quan区御园路99hao光谷科技园A-1栋

Copyright ? 2014-2018 河bei365体育比分电子科技有xian公si 版quan所有   冀ICPbei18008662hao-1

.